基于CAD图形的检测

Camtek开发了独特的软件解决方案，通过使用CAD设计文件作为参考图形来简化检测程式设置。

这种基于CAD标准的检测程式设置支持导入芯片、光罩、晶圆和面板级别的CAD文件（如GDSII格式），并将其用作理想的晶圆设计图形。

对于具有精细结构和特征的晶圆设计，使用CAD设计文件作为参考尤为关键，可通过精准覆盖图中最关注的区域，实现晶圆特征的完美区域叠加。