膜厚量测

各种封装工艺步骤中应用的薄膜层需要进行专门的量测以确保其均匀性与质量。Camtek专有的膜厚传感器具备亚μm级量测能力，利用光干涉从涂层表面反射，从而精确获取涂层厚度。