产品中心
Eagleᵀ-i Plus
领先的2D检测能力
- 优化Genesis算法增强了亚微米级缺陷检测能力
- 基于CAD的检测技术
- 强大的算力
- 切割后晶圆的内部隐裂检测
- 背光照明技术
先进的平台
- 可定制光学系统
- 高强度LED照明
- 显著提升的产能
产品亮点
- 检测精度 明场-0.42μm；暗场-0.2μm
- 多级放大倍率，可实现检测精度灵活优化方案
- 支持按区域设置检测算法，以优化检测应用精度
- 基于CAD的检测技术
- 允许在一个周期内，使用不同的对焦位置、放大倍率、照明、灵敏度和检测引擎等运行连续的扫描作业
- 设备间自动Matching-支持在设备间轻松传送程式实现系统间的结果匹配
产品
