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Eagle G5
承袭Eagle系列卓越基因,新一代产品Eagle G5,以颠覆性的速度与效率,赋能极致生产力。
主要优势
- 显著提升的产能
- 全新优化的光学系统
- 更高分辨率,实现增强的检测与量测性能
- 针对多重RDL、扇出型晶圆级封装(FOWLP)、2.5D及CMOS图像传感器等提供创新的解决方案
- Clear-Sight Technology (CSI) 针对多层RDL应用的清晰视野检测系统
- 检测能力增强,分辨率小至1.4μm线宽/线距
- 产能提升两倍(2X TPT)
检测能力
- 表面缺陷检测精度 明场0.5 μm;暗场0.2μm
- 多级放大倍率,可实现检测精度灵活优化方案
- 基于CAD的检测能力
- 允许在一个周期内,使用不同的对焦位置、放大倍率、照明、灵敏度和检测引擎等运行连续的扫描作业
- 特征缺陷自动分类能力
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