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Eagle G5

承袭Eagle系列卓越基因,新一代产品Eagle G5,以颠覆性的速度与效率,赋能极致生产力。

主要优势

  • 显著提升的产能
  • 全新优化的光学系统
  • 更高分辨率,实现增强的检测与量测性能
  • 针对多重RDL、扇出型晶圆级封装(FOWLP)、2.5D及CMOS图像传感器等提供创新的解决方案
  • Clear-Sight Technology (CSI) 针对多层RDL应用的清晰视野检测系统
  • 检测能力增强,分辨率小至1.4μm线宽/线距
  • 产能提升两倍(2X TPT)

 

检测能力

  • 表面缺陷检测精度 明场0.5 μm;暗场0.2μm
  • 多级放大倍率,可实现检测精度灵活优化方案
  • 基于CAD的检测能力
  • 允许在一个周期内,使用不同的对焦位置、放大倍率、照明、灵敏度和检测引擎等运行连续的扫描作业
  • 特征缺陷自动分类能力

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