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Eagleᵀ-AP

为先进封装市场设计的Eagleᵀ-AP平台,在保持卓越性能和产能的同时,集成了2D和3D检测与量测功能。
该设备具备领先的检测与量测能力,核心优势源自:
  • Genesis检测引擎
  • 全新相机
  • 全新高端光学通道
  • 可定制专业照明系统
  • 针对多层RDL应用的清晰视野检测系统
  • 基于CAD的检测能力
  • 可量测小至2µm Bump高度
  • 单片晶圆检测与量测应用超过5,000万个Bump
  • Bump关键尺寸和表面检测
  • RDL关键尺寸和高度量测

核心能力

  • 全面支持各种Bump类型量测(包括焊锡凸块、金凸块、铜柱凸块和微凸块等)
  • 3D量测能力:Bump高度、共面性、PR/PI层厚度及开孔深度量测等
  • 2D量测能力:直径/宽度/长度、位置偏差、套刻偏差、晶粒偏移量测等

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