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Eagleᵀ-i
Camtek为速度和精度而设计的Eagleᵀ-i是市场上产能高、缺陷检测能力强的量产2D检测设备之一。
该设备提供领先的2D检测功能:
- Genesis检测引擎
- 全新相机
- 全新高端光学通道
- 可定制专业照明系统
- 针对多层RDL应用的清晰视野检测系统
- 基于CAD的检测能力
Eagleᵀ-i为扇出型封装应用提供先进的解决方案:
- 小至2µm线宽/线距的RDL检测能力
- 适用于翘曲晶圆检测
- 支持面板级封装检测
产品亮点
- 小至0.2μm的表面缺陷检测
- 多级放大倍率，可实现检测精度灵活优化方案
- 支持按区域设置检测算法，以优化检测应用精度
- 基于CAD的检测能力
- 允许在一个周期内，使用不同的对焦位置、放大倍率、照明、灵敏度和检测引擎等运行连续的扫描作业
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