产品中心
Golden Eagle
Golden Eagle为面板检测与量测而设计。
- 支持面板尺寸：达650x650mm
- 新型花岗岩平台
- 高端光学通道
- 基于CAD的检测技术
- 面向扇出型应用的RDL检测
- 专用算法实现卓越检测性能
产品亮点
- 检测精度：明场0.8μm；暗场0.5μm
- 多级放大倍率，可实现检测精度灵活优化方案
- 配备滤色片的明场与暗场成像
- 基于CAD的检测技术
- 支持按区域设置检测算法，以优化检测应用精度
- 可使用不同的对焦位置、照明和检测引擎等运行连续的扫描作业
产品
产品中心
Golden Eagle为面板检测与量测而设计。