滑移线缺陷检测

外延层检测颇具挑战：该层材料的透明度需要特殊的照明条件，且未做图形晶圆的制造过程会导致微小的线条（也称为滑移线）从晶圆边缘向内部延伸。

Camtek创新的光学系统，结合图像处理算法，实现了滑移线的有效检测。